六氟化钨

六氟化钨

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所属分类:氟化物产品

发布日期:2021-06-24 14:57:06

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  一、标识

  中文名:六氟化钨          英文名:Tungsten hexafluoride
  分子式:WF6                分子量:297.8
  CAS号:7783-82-6          危险性类别:第2.3类有毒气体

  二、理化性质

  熔点:2.3      沸点:17.5      相对密度(水=1):3.44

  三、主要用途

  在微电子工业和材料加工改性中,六氟化钨用于离子注入或化学气相沉积硅化钨或钨膜,用以制作低电阻、离熔点的电路互连线和栅极,还有抗X射线或γ射线的保护罩,高效太阳能吸收器。

  三、运输方式

  包装类别:Ⅱ                   包装标志:6

  四、储运注意事项

  储存于阴凉、干燥、通风良好的不易燃库房。远离火种、热源。防止阳光直射。防止受潮。与其他物品分开存放。平时要注意检查容器是否有泄漏现象。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈,防止钢瓶碰撞、损坏。

  五、泄漏处理

  疏散泄漏污染区人员至安全区,禁止无关人员进入污染区,应急处理人员戴正压自给式呼吸器,穿厂商特别的化学防护服(完全隔离)。在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散),但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。勿使水进入包装容器内,抽排(室内)或强力通风(室外)。漏气容器不能再用,且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。
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