四氟化碳

四氟化碳

浏览次数:3233次

所属分类:氟化物产品

发布日期:2021-06-29 16:17:47

咨询热线:申总:15038538634 在线留言
详情
  分子式:CF4
  分子量:88.01
  CAS号:75-73-0
  性质:又称四氟甲烷。
  (tetrafluormathane)。无色无臭味气体。不燃。熔点-184℃。沸点-128℃。稍溶于水。由四氯化碳氟化制得。主要用于制取氟硅橡胶,也可用作制冷剂、绝缘气体。可用于半导体生产中等离子蚀刻、表面清洗,并用作太阳能电池气体,激光器工作介质。及超低温制冷剂,气体绝缘剂、微电子工业中等离子体化学干刻剂以及火箭方向的控制。高浓度对人体有麻醉作用。
  用途:用于致冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。也用于制作低温液体压力计或作为惰性气体,或用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺和激光气体。

  产品指标:

洛阳特来化工科技产品质量指标
项目名称 指标纯度
四氟化碳(CF4).% ≥99.999 ≥99.995 ≥99.99
氮气(N2).ppmv ≤4 ≤20 ≤40
氧气(O2).ppmv ≤1 ≤5 ≤10
二氧化碳(CO2).ppmv ≤1 ≤5 ≤10
一氧化碳(CO).ppmv ≤0.3 ≤0.5 ≤1
六氟化硫(SF6).ppmv ≤1 ≤1 ≤5
水份(H2O).ppmv ≤1 ≤5 ≤10
酸度(HF).ppmv ≤0.1 ≤0.3 ≤0.3
氟碳化合物(TFC).ppmv ≤1 ≤10 ≤30
注:氟碳化合物CH3F(R41)、CH2F2(R32)、CHF3(R23)、C2F6(R116)、C3F8(R218)等。
  产品包装:

钢瓶规格(DOT) 48.8L 47L 40L 10L 4L
钢瓶阀 CGA580/CGA590/CGA320


网站首页 网站首页 电话咨询电话咨询 返回顶部返回顶部