六氟乙烷

　　一、产品介绍

　　中文名称：六氟乙烷           英文名称：hexafluoroethane
　　化学式：C2F6                  CAS号：76-16-4
　　熔点（℃）：-101               沸点（℃）：-78
　　亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物，是一种不易燃的气体，难溶于水，微溶于醇。

　　二、主要用途

　　可用于一种具多功能的蚀刻技术，常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外，它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。
　　作制冷剂方面：六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）

　　三、运输信息

　　危险货物编号：22034
　　UN编号：2193
　　包装类别：O53
　　包装方法： 钢质气瓶。
　　运输注意事项： 采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与氧化剂等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。

　　四、泄漏处理

　　应急处理： 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，将漏气的容器移至空旷处，注意通风。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。

　　五、储存注意

　　储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。应与氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

　　产品指标：

特来化工科技产品质量指标
项目名称	质量指标
六氟乙烷（C2F6).ppmv	≥99.999%
氧气（O2).ppmv	≤2.0
氮气（N2）.ppmv	≤8.0
二氧化碳(CO2).ppmv	≤0.5
一氧化碳(CO).ppmv	≤0.5
水份(H2O).ppmv	≤0.1
酸度（以HF计）.ppmv	≤0.1
其它有机物.ppmv	≤1.5

　　包装规格：

钢瓶包装	容积	净重
	44L	43kg
钢瓶阀门	CGA660/DISS716