你知道含氟蚀刻气体都有哪些么？

　　现在，含氟蚀刻气体是一把无形的“刀”，被广泛应用于半导体或LCD前段制程，甚至可以在微米厚的薄膜上刻出纳米级的沟槽。你能脑补那个画面吗？

　　那么，含氟蚀刻气体都有哪些？它们又是如何进行工作的呢？

　　蚀刻所用气体称蚀刻气体， 通常多为氟化物气体， 例如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。

　　含氟蚀刻气体是电子气体的一个重要分支，是超大规模集成电路、平面显示器件、太阳能电池，光纤等电子工业生产不可或缺的原材料，广泛应用于薄膜、蚀刻、掺杂、气相沉积、扩散等半导体工艺。在国家发展改革委《产业结构调整指导目录(2011年本)(修正)》中，电子气体被列入国家重点鼓励发展的产品和产业目录。

　　蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。

　　干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制精确、方便、无脱胶现象、无基片损伤和沾污， 所以其应用范围日益广泛。

　　蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金属膜等蚀刻掉， 而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来， 这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的基本要求是， 图形边缘整齐， 线条清晰， 图形变换差小， 且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。

　　气瓶储存堆放有哪些注意事项呢？

　　在气瓶使用过程中，任何操作步骤都不能疏忽。尤其是在气瓶储存的时候，更应当严守安全规范守则，细心检查每个要点，具体的气瓶储存堆放有哪些注意事项呢？

　　1、气瓶宜存储在室外带遮阳、雨篷的场所。

　　2、存储在室内时，建筑物应符合有关标准要求。

　　3、气瓶立式存放时应有防倒装置，卧放时要防止滚动，头部朝向一方，堆放高度不得超过五层。

　　4、气瓶存储室不得设在地下室或半地下室，也不能和办公室或休息室设在一起。

　　5、存储场所应通风、干燥，防止雨(雪)淋、水浸、避免阳光直射。

　　6、严禁明火和其他热源，不得有地沟、暗道和底部通风孔，并且严禁任何管线穿过。

　　7、存放气瓶要防止阳光直接曝晒以及其它高温热源的辐照加热，季瓶库内温度应保持在35℃以下，以免引起气体膨胀的爆炸。

　　8、瓶库内不得存放易燃、可燃易爆物品，瓶库周围10米内禁上堆放以上物品。

　　9、存储可燃、爆炸性气体气瓶的库房内照明设备必须防爆，电器开关和熔断器都应设置在库房外，同时应设避雷装置。

　　10、禁止将气瓶放置到可能导电的地方。